半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業，但事實上，半導體生產過 程中使用了大量有機和無機物，包括許多有毒有害物質，對環境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產生較大的環境污染。

一些半導體產業發達的國家和地區，如美國、德國和臺灣等，都針對半導體行業制訂了相應的排放標準。

上海早于2006年就頒 布了《半導體行業污染物排放標準》（DB31/ 374-2006），對于督促企業采用國際先進生產 技術和治理措施，推行清潔生產技術，提高污染控制水平，起到了積極作用。 旁邊的江蘇省環境保護廳于 2015 年正式下達了《江蘇省半導體行業污染物排放標準》制定任務，目前正在征求意見中。

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。目前，針對這種氣體排放，一 般采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上，達到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質，凈化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控制。?

但固體吸附劑的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設備龐大，且吸附后吸附劑需要再生處理，是吸附處理的主要缺點。半導體生產場所揮發出來的有機廢氣通過局部排風罩收集，經管道送至吸附凈化系統。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活性炭是非極性吸附劑，對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高，且價格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導體行業處理各種有機廢氣，通過熱氧化將有機物轉化為 CO2 和水。同時，焚燒對處理穩定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機廢氣流經過加熱，氣相中的有機物被氧化。為節省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產生的熱量對進口氣體進行預熱。對于處理大流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法。 由于半導體行業廢氣焚燒會產生SiO2，且SiO2會使催化劑鈍化，因此半導體行業中很少采用接觸氧化的方法。

一些半導體生產廠也使用旋轉濃縮系統富集有機廢氣，如沸石濃縮轉輪。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點，使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪使用內帶吸收物質的旋轉輪，其中的吸收物質部分曝露于廢氣流中。轉輪吸收廢氣中的揮發性污染物，并使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發物，這種低流量、高濃度的氣流能很好地被氧化。旋轉濃縮系統用于半導體行業的一個缺點是它對甲醇親和力較差，去除率僅為 40-60％。

總而言之，廢氣治理方面，半導體行業酸、堿廢氣一般采用相應的堿液吸收和酸液吸收進行處理，工藝方法已非常成熟，只要適當優化相關工藝參數，能夠滿足本標準的要求，需要關注的有機廢氣的處理。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好，但是運營成本會很高；吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣；直接燃燒法適合于高濃度、小風量廢氣治理；冷凝法適用于成分相對單一、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣。對于半導體行業低濃度、大風量、成分復雜的有機廢氣，吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內一些大型半導體企業已采用沸石轉輪濃縮后燃燒，該方法適用于大風量、低濃度、常溫的有機廢氣處理，凈化效率達到90％以上，濃縮比達20﹕1，運行費用較低，設備處理風量大，占地面積小，不產生二次污染，可持續脫附并處理污染物。根據企業實際運行情況，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理效率達到95%；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3，可保證廢氣達標排放。

內容參考江蘇省生態環境廳相關文件